




特種氣體的雜質(zhì)檢測(cè)和監(jiān)控
隨著電子特氣的純度越來(lái)越高,對(duì)分析檢測(cè)方法和儀器提出了更高的要求,檢測(cè)限從zui早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國(guó)外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對(duì)于高純度電子氣體的分析,國(guó)外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測(cè)試方法和現(xiàn)場(chǎng)分析儀器。而由于我國(guó)電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測(cè),因此分析方法和分析儀器同國(guó)外廠商相比都比較落后。

特種氣體管道試壓
1、試壓時(shí)應(yīng)將壓力緩慢升至試驗(yàn)壓力,并注意觀察管道各部分情況,如發(fā)現(xiàn)問題,應(yīng)卸壓后進(jìn)行修理,禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。
2、當(dāng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)時(shí),應(yīng)劃定禁區(qū),特種氣體廠家,無(wú)關(guān)人員不能進(jìn)入,防止傷人。
3、對(duì)于劇1毒管道及設(shè)計(jì)壓力P≥10Mpa管道,壓力試驗(yàn)前應(yīng)按規(guī)范要求將各項(xiàng)資料經(jīng)設(shè)計(jì)單位復(fù)查,確認(rèn)無(wú)誤。
4、管道系統(tǒng)試驗(yàn)合格后,應(yīng)及時(shí)填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”,有關(guān)人員簽字確認(rèn)。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,工業(yè)特種氣體廠家,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,合肥特種氣體,自動(dòng)氮?dú)獯祾撸I(yè)特種氣體多少錢,自動(dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>

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